发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH02135739(A) 申请公布日期 1990.05.24
申请号 JP19880290409 申请日期 1988.11.16
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 TAKADA TADAYOSHI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/08;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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