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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02134817(A) 申请公布日期 1990.05.23
申请号 JP19880289204 申请日期 1988.11.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SHIROMIZU YOSHIMI
分类号 C23F1/12;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213 主分类号 C23F1/12
代理机构 代理人
主权项
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