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发明名称 GAS SCAVENGER
摘要
申请公布号 EP0264177(A3) 申请公布日期 1990.05.23
申请号 EP19870307347 申请日期 1987.08.19
申请人 THERMCO SYSTEMS, INC. 发明人 TAYLOR, JERRY A., SR.
分类号 B01J4/00;C23C16/44;C23C16/56;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B01J4/00
代理机构 代理人
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