发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02134808(A) 申请公布日期 1990.05.23
申请号 JP19880289207 申请日期 1988.11.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SHIRAI HISATSUGU
分类号 H01L21/306;H01L21/027 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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