非接触式激光调频光纤位移测量仪

摘要

一种非接触式激光调频光纤位移测量仪，属于机械精密测量领域，特别是属于对位移量、振动的精密测量。本发明采用半导体激光光源，光束经锯齿波调制，由光纤传输，通过参考光与探测光的相位比较得到位移量。本发明体积小、重量轻，线性动态范围大，可抗电磁干扰和抗振动，精度达0.04μm，可用于静态或动态测量。测量结果可数字化处理，便于与计算机联网。

主权项

1、一种非接触式激光调频光纤位移测量仪，其特征在于由半导体激光器[4]、激光调制电源[10]、耦合透镜[11]、光纤[12]、光纤定向耦合器[13]、光电探测器[8]、位相检测器[20]所组成。