发明名称 |
PROCESS FOR MAKING METAL-SEMICONDUCTOR OHMIC CONTACTS |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0260232(B1) |
申请公布日期 |
1990.05.23 |
申请号 |
EP19870830297 |
申请日期 |
1987.07.30 |
申请人 |
SGS-THOMSON MICROELECTRONICS S.R.L. |
发明人 |
GUALANDRIS, FABIO |
分类号 |
H01L21/311;H01L21/285;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/311 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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