ARC ILLUMINATION APPARATUS,申请号JP19880287985-传众专利搜索

发明名称	ARC ILLUMINATION APPARATUS
摘要
申请公布号	JPH02133914(A)	申请公布日期	1990.05.23
申请号	JP19880287985	申请日期	1988.11.15
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD	发明人	SUZUKI MASAKI
分类号	G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
主权项
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