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发明名称
METHOD OF SIMULTANEOUSLY MEASURING THICKNESS AND COMPOSITION OF FILM AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号
EP0348574(A3)
申请公布日期
1990.05.23
申请号
EP19880310137
申请日期
1988.10.28
申请人
KAWASAKI STEEL CORPORATION
发明人
KAWABE, JUNJI C/O TECHNICAL RESEARCH DIVISION;HASHIGUCHI, KOICHI C/O TECHNICAL RESEARCH DIVISION
分类号
G01B15/02;G01N9/24;G01N23/207;G01N23/22;G01N23/223;(IPC1-7):G01N23/20
主分类号
G01B15/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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