发明名称 METHOD OF SIMULTANEOUSLY MEASURING THICKNESS AND COMPOSITION OF FILM AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 EP0348574(A3) 申请公布日期 1990.05.23
申请号 EP19880310137 申请日期 1988.10.28
申请人 KAWASAKI STEEL CORPORATION 发明人 KAWABE, JUNJI C/O TECHNICAL RESEARCH DIVISION;HASHIGUCHI, KOICHI C/O TECHNICAL RESEARCH DIVISION
分类号 G01B15/02;G01N9/24;G01N23/207;G01N23/22;G01N23/223;(IPC1-7):G01N23/20 主分类号 G01B15/02
代理机构 代理人
主权项
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