| 发明名称 |
PRODUCTION OF SUPERCONDUCTING THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02133320(A) |
申请公布日期 |
1990.05.22 |
| 申请号 |
JP19880285663 |
申请日期 |
1988.11.14 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HIRATANI MASAHIKO;AKAMATSU SHOICHI;SAITO SHINICHIRO;TSUKAMOTO AKIRA;MIYAUCHI KATSUMI |
| 分类号 |
C01G15/00;C01G1/00;C01G29/00;C23C14/08;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C01G15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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