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发明名称 MICROWAVE PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPH02132826(A) 申请公布日期 1990.05.22
申请号 JP19880287061 申请日期 1988.11.14
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ISHIMARU YASUSHI
分类号 C23F1/08;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
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