| 发明名称 |
SPUTTERING DEVICE FOR MULTIPLE BODY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02133570(A) |
申请公布日期 |
1990.05.22 |
| 申请号 |
JP19880284456 |
申请日期 |
1988.11.10 |
| 申请人 |
ANELVA CORP |
发明人 |
ASAMAKI TATSUO;HOSOKAWA NAOKICHI;KIN KIYOUSHIYOKU;ISHIBASHI KEIJI |
| 分类号 |
C23C14/34;H01B12/06;H01L39/24 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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