发明名称 SELECTIVE OXIDATION
摘要
申请公布号 JPH02132830(A) 申请公布日期 1990.05.22
申请号 JP19880287156 申请日期 1988.11.14
申请人 SONY CORP 发明人 ITO SHINICHI
分类号 H01L21/76;H01L21/316 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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