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发明名称
METHOD AND DEVICE FOR COOLING PRINTING FRAME OF EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02132445(A)
申请公布日期
1990.05.21
申请号
JP19880287308
申请日期
1988.11.14
申请人
ORC MFG CO LTD
发明人
YAZAKI YOSHIO
分类号
G12B15/04;G03F7/20;H01L21/027;H05K7/20
主分类号
G12B15/04
代理机构
代理人
主权项
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