发明名称 METHOD AND DEVICE FOR COOLING PRINTING FRAME OF EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02132445(A) 申请公布日期 1990.05.21
申请号 JP19880287308 申请日期 1988.11.14
申请人 ORC MFG CO LTD 发明人 YAZAKI YOSHIO
分类号 G12B15/04;G03F7/20;H01L21/027;H05K7/20 主分类号 G12B15/04
代理机构 代理人
主权项
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