发明名称 PATTERN INSPECTION INSTRUMENT
摘要
申请公布号 JPH02132312(A) 申请公布日期 1990.05.21
申请号 JP19880287279 申请日期 1988.11.14
申请人 FUJITSU LTD 发明人 IWATA SATOSHI;NAKAJIMA MASAHITO
分类号 G01B11/24;G01B11/245;G01N21/88;H01L21/66 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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