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发明名称 LASER CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02131135(A) 申请公布日期 1990.05.18
申请号 JP19880283358 申请日期 1988.11.09
申请人 VICTOR CO OF JAPAN LTD 发明人 KAWAGUCHI TOSHIHIKO
分类号 C30B25/02;B01J19/12 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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