发明名称 PATTERN FORMING MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH02130552(A) 申请公布日期 1990.05.18
申请号 JP19880284737 申请日期 1988.11.10
申请人 NIPPON ZEON CO LTD 发明人 OIE MASAYUKI;KAWADA MASAJI;MIHIRA TAKAYUKI;KAMIYA SHIGEMITSU
分类号 G03F7/023 主分类号 G03F7/023
代理机构 代理人
主权项
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