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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02129917(A)
申请公布日期
1990.05.18
申请号
JP19880284147
申请日期
1988.11.09
申请人
FUJITSU LTD
发明人
SAITO TSUTOMU
分类号
C23F1/12;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/78
主分类号
C23F1/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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