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发明名称 PROCESSING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH02130918(A) 申请公布日期 1990.05.18
申请号 JP19880284996 申请日期 1988.11.11
申请人 TEL SAGAMI LTD 发明人 KATO MITSUO;TANAKA DAISUKE;KOBAYASHI MASARU
分类号 H01L21/22;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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