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发明名称
FREQUENCY MEASURING EQUIPMENT FOR HIGH FREQUENCY OSCILLATION OF IC
摘要
申请公布号
JPH02130942(A)
申请公布日期
1990.05.18
申请号
JP19880285161
申请日期
1988.11.11
申请人
NEC CORP
发明人
MIKAMI HIDEAKI
分类号
G01R31/26;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
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