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发明名称 MANUFACTURE OF FINE PATTERN
摘要
申请公布号 JPH02130825(A) 申请公布日期 1990.05.18
申请号 JP19880284474 申请日期 1988.11.10
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 FUJIWARA HIDEJI
分类号 H01L21/302;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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