制造铜-炭纤维复合材料及功率半导体器件中支撑电极的方法

摘要

本发明公开了一种铜-炭纤维复合材料的复合新工艺和用铜-炭纤维复合材料制造功率半导体器件支撑电极的方法，复合工艺的特点是对多股炭纤维束连续镀铜，工艺过程简单，易控，成品率高。支撑电极的制造方法是将铜-炭纤维复合材料绕制成涡卷状，随后在还原性气氛中热压成片。工艺简便，成本低。用该片代替传统的钼片作支撑电极既克服了钼片易裂、分层、各向异性等缺点，又节省了大量的稀有金属钼，具有显著的经济效益。

主权项

1、一种铜-炭纤维复合材料的复合工艺，其特征是对炭纤维束在焦磷酸盐电镀液中通过四对电极连续镀铜，其工艺过程为对炭纤维束清洗-表面活化处理-电镀-清洗。所用炭纤维束一般为3～16股。