| 发明名称 |
INRICHTING VOOR DIKTEMETING EN DIKTEREGELING VAN OPTISCH WERKZAME DUNNE LAGEN TIJDENS DE OPBOUW DAARVAN. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL186235(B) |
申请公布日期 |
1990.05.16 |
| 申请号 |
NL19770006712 |
申请日期 |
1977.06.17 |
| 申请人 |
LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT TE KEULEN, BONDSREPUBLIEK DUITSLAND. |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/54;G01B11/06;G05D5/03;(IPC1-7):C03C17/09;C03C17/245 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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