平面度误差分离法及实时测量仪

摘要

一种平面度误差分离法及实时测量仪，属于机械量形位误差测量领域。本发明为高精度大平面平面度测量提供一种有效的、可行的新方法。这种方法用五个传感器按特殊分布，可以有效的分离出工作台运动平面的误差及支承测头导轨形位误差及弯曲变形误差，所测数据直接转入计算机用数据处理方法能迅速得到工件的平面度值，且能把工件的表面形状给出，从而大大提高了测量精度，同时实现了自动实时测量。

主权项

1、一种平面度误差分离测量方法，其特征在于采用五个测头同时测量，所说的五个测头按两个方向排列，同一方向相邻两测头之间距离相等并且等于该方向上的测量间距，以保证各测头的测量点重合。