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经营范围
发明名称
ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02128421(A)
申请公布日期
1990.05.16
申请号
JP19880282213
申请日期
1988.11.08
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
MINAGAWA YUKIFUMI
分类号
C23F1/08;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
C23F1/08
代理机构
代理人
主权项
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