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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR FEEDING AND COATING ARTICLES IN A CONTROLLED ATMOSPHERE
摘要
申请公布号 EP0289194(A3) 申请公布日期 1990.05.16
申请号 EP19880303519 申请日期 1988.04.19
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人 GEORGE, CARROLL H.;RUST, RAY D.
分类号 C23C14/56;H01L21/00;H05K3/16;H05K3/26;(IPC1-7):C23C14/56;C23C14/34;H01J37/32 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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