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发明名称 MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02128465(A) 申请公布日期 1990.05.16
申请号 JP19880281987 申请日期 1988.11.08
申请人 YAMAHA CORP 发明人 HANAGASAKI OSAMU
分类号 H01L27/04;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/822;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/78 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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