| 发明名称 |
GALLIUM HYDRIDE/TRIALKYLAMINE ADDUCTS, AND THEIR USE IN DEPOSITION OF III-V COMPOUND FILMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0251555(B1) |
申请公布日期 |
1990.05.16 |
| 申请号 |
EP19870305327 |
申请日期 |
1987.06.16 |
| 申请人 |
MORTON THIOKOL, INC. |
发明人 |
BRAUNAGEL, NORBERT;MELAS, ANDREAS A. |
| 分类号 |
C07F5/00;C23C16/30;C30B29/40 |
主分类号 |
C07F5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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