| 发明名称 |
SPATIAL PHASE MODULATING MASKS AND PRODUCTION PROCESSES THEREOF, AND PROCESSES FOR THE FORMATION OF PHASE-SHIFTED DIFFRACTION GRATINGS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0195724(A3) |
申请公布日期 |
1990.05.16 |
| 申请号 |
EP19860400592 |
申请日期 |
1986.03.20 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
SHIRASAKI, MASATAKA;NAKAJIMA, HIROCHIKA |
| 分类号 |
G03F7/00;(IPC1-7):G03C5/00;G03F1/00 |
主分类号 |
G03F7/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
