| 发明名称 | 一种制造可关断晶闸管的方法 | ||
| 摘要 | 一种制造可关断晶闸管的方法，用该方法，在衬底的阴极表面已扩进或注进施主后，但在扩散进n型发射区(13)前，用腐蚀进衬底(1)的槽(16a，b)将各个单个的晶闸管隔离开来。该工艺避免了P型基区层(10)的厚度的不必要的损失，因此改善了可关断晶闸管的电学性能。 | ||
| 申请公布号 | CN1042272A | 申请公布日期 | 1990.05.16 |
| 申请号 | CN89108019.8 | 申请日期 | 1989.09.13 |
| 申请人 | 亚瑞亚·勃朗勃威力有限公司 | 发明人 | 托马斯·弗拉萨克 |
| 分类号 | H01L21/02;H01L29/74 | 主分类号 | H01L21/02 |
| 代理机构 | 中国专利代理有限公司 | 代理人 | 肖掬昌;曹济洪 |
| 主权项 | 1、一种制造可关断晶闸管的方法，在衬底(1)上用槽(16a，b)隔离出许多n型发射区(13)形成一个按n型基区层(11)和p型基区层(10)相叠顺序的多层结构，其特征在于： (a)首先在紧靠p型基区层(10)的整个表面处形成一层含施主的预沉积层(9)； (b)然后将预沉积层(9)用槽(16a，b)刻蚀出许多相互隔离的预沉积区(9a)； (c)最后将预沉积层(9a)中的施主扩散到衬底(1)中去，形成n型发射区(13)。 | ||
| 地址 | 瑞士巴登 | ||