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发明名称 FORMATION OF ELEMENT ISOLATION REGION
摘要
申请公布号 JPH02126651(A) 申请公布日期 1990.05.15
申请号 JP19880280975 申请日期 1988.11.07
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 FUKUDA HISASHI;OKABE YUTAKA
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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