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发明名称 MANUFACTURE OF MOS TYPE SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH02126681(A) 申请公布日期 1990.05.15
申请号 JP19880280761 申请日期 1988.11.07
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 KASHIMA MASAHITO
分类号 H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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