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发明名称 MANUFACTURE OF SOI SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH02126631(A) 申请公布日期 1990.05.15
申请号 JP19880280757 申请日期 1988.11.07
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 SAITO AKIRA;ISHIWATARI OSAMU
分类号 H01L21/20;H01L21/02;H01L21/324;H01L27/12 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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