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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02126652(A) 申请公布日期 1990.05.15
申请号 JP19880280605 申请日期 1988.11.07
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HARADA TERUAKI
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/118 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
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