发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02125444(A) 申请公布日期 1990.05.14
申请号 JP19880273432 申请日期 1988.10.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAKAO ICHIRO;YAMADA TOSHIRO
分类号 H01L21/76;H01L21/31 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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