| 发明名称 |
METHOD FOR SYNTHESIZING DIAMOND FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH02124799(A) |
申请公布日期 |
1990.05.14 |
| 申请号 |
JP19880276764 |
申请日期 |
1988.11.01 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
KAWARADA MOTONOBU;ETSUNO NAGAAKI;KURIHARA KAZUAKI;SASAKI KENICHI;TEJIMA AKITOMO |
| 分类号 |
C30B29/04;C23C16/26;C23C16/27 |
主分类号 |
C30B29/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
