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经营范围
发明名称
HEAT TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH02125421(A)
申请公布日期
1990.05.14
申请号
JP19880278669
申请日期
1988.11.04
申请人
TEL SAGAMI LTD
发明人
TANAKA DAISUKE
分类号
H01L21/22;H01L21/205;H01L21/31
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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