发明名称 DEVICE FOR SUPPLYING SOLID ORGANIC METAL
摘要
申请公布号 JPH02124796(A) 申请公布日期 1990.05.14
申请号 JP19880277736 申请日期 1988.11.02
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KADOIWA KAORU;YOSHIDA NAOTO
分类号 C30B25/14;C30B29/40;H01L21/205 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
地址