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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02125686(A) 申请公布日期 1990.05.14
申请号 JP19880279914 申请日期 1988.11.04
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YURI MASAAKI;OTA KAZUNARI
分类号 H01L21/205;H01S5/00 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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