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发明名称 APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH02125430(A) 申请公布日期 1990.05.14
申请号 JP19880278793 申请日期 1988.11.04
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MASE KOICHI;ABE MASAYASU
分类号 C23C16/44;C23C16/50;C23C16/509;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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