| 发明名称 |
THIN FILM CIRCUIT SUBSTRATE OF ALUMINUM NITRIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02123756(A) |
申请公布日期 |
1990.05.11 |
| 申请号 |
JP19880277931 |
申请日期 |
1988.11.02 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
YASUMOTO YASUAKI;IWASE NOBUO |
| 分类号 |
C04B41/90;H01L23/12;H01L23/15;H05K1/03;H05K1/05;H05K1/09;H05K3/38 |
主分类号 |
C04B41/90 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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