| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR ANALYZING SAMPLE BY UTILIZING REAR SCATTERED ELECTRON |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02123652(A) |
申请公布日期 |
1990.05.11 |
| 申请号 |
JP19890235846 |
申请日期 |
1989.09.13 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
KANNRIYUNGU RII |
| 分类号 |
H01J37/141;G01Q10/06;G01Q30/02;G01Q30/04;G01Q30/20;G01R31/305;H01J37/244;H01J37/26 |
主分类号 |
H01J37/141 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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