发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL LAYER
摘要
申请公布号 JPH02122521(A) 申请公布日期 1990.05.10
申请号 JP19880275605 申请日期 1988.10.31
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HATANO GOKOU;OBA YASUO;EGUCHI KAZUHIRO;KUSHIBE MITSUHIRO;FUNAMIZU MASAHISA
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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