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发明名称 STRAHLUNGSEMPFINDLICHES GEMISCH
摘要
申请公布号 DE3837438(A1) 申请公布日期 1990.05.10
申请号 DE19883837438 申请日期 1988.11.04
申请人 BASF AG, 6700 LUDWIGSHAFEN, DE 发明人 NGUYEN KIM, SON, DR., 6842 BUERSTADT, DE;HOFFMANN, GERHARD, DR., 6701 OTTERSTADT, DE;SCHWALM, REINHOLD, DR., 6706 WACHENHEIM, DE
分类号 G03F7/039;G03F7/004;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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