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发明名称 VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUM MESSEN VON GROESSEN UND GEOMETRIE EINER DUENNSCHICHT-STRUKTUR
摘要
申请公布号 DE3936541(A1) 申请公布日期 1990.05.10
申请号 DE19893936541 申请日期 1989.11.02
申请人 RICOH CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ISOBE, TAMI, YOKOHAMA, KANAGAWA, JP
分类号 G01N21/21;G01N21/41;G01N21/84 主分类号 G01N21/21
代理机构 代理人
主权项
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