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发明名称
PRESSURE SENSOR EQUIPPED WITH PROTECTIVE LAYER
摘要
申请公布号
JPH02122572(A)
申请公布日期
1990.05.10
申请号
JP19880276580
申请日期
1988.10.31
申请人
AISIN SEIKI CO LTD
发明人
SHIMIZU TAKU
分类号
H01L21/314;H01L29/84
主分类号
H01L21/314
代理机构
代理人
主权项
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