METHODS OF FORMING SUBSTANCES ON SUBSTRATES BY REACTIVE SPUTTERING,申请号GB19850022056-传众专利搜索

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发明名称	METHODS OF FORMING SUBSTANCES ON SUBSTRATES BY REACTIVE SPUTTERING
摘要
申请公布号	GB2180262(B)	申请公布日期	1990.05.09
申请号	GB19850022056	申请日期	1985.09.05
申请人	* THE PLESSEY COMPANY PLC	发明人	CHRISTOPHER JOHN * WORT;STUART PHILIP * SPEAKMAN
分类号	C23C14/00;C23C14/46	主分类号	C23C14/00
代理机构		代理人
主权项
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