发明名称 |
RADIATION HARDENING TECHNIQUES FOR METAL-OXIDE SILICON DEVICES |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0273702(A3) |
申请公布日期 |
1990.05.09 |
申请号 |
EP19870311350 |
申请日期 |
1987.12.23 |
申请人 |
GENERAL ELECTRIC COMPANY |
发明人 |
WEI, CHING-YEU;WOODBURY, HENRY HUGH |
分类号 |
H01L21/76;H01L21/266;H01L21/762;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;(IPC1-7):H01L27/10;H01L21/54 |
主分类号 |
H01L21/76 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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