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发明名称 MANUFACTURING METHOD OF CONDUCTIVE OR SUPERCONDUCTIVE THIN FILM
摘要
申请公布号 EP0280273(A3) 申请公布日期 1990.05.09
申请号 EP19880102723 申请日期 1988.02.24
申请人 KAWATETSU MINING COMPANY, LTD.;KOINUMA, HIDEOMI 发明人 KOINUMA, HIDEOMI;FUEKI, KAZUO;KAWASAKI, MASASHI;NAGATA, SHUNROH
分类号 C23C14/08;C23C14/34;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24;H01L21/306 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
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