发明名称 A VARIABLE TEMPERATURE SCANNING TUNNELING MICROSCOPE.
摘要 Un microscope à effet tunnel à balayage à tube thermiquement compensé utilise deux tubes piézoélectriques concentriques (11, 12), le premier (11) pour le balayage, le second (12) pour la translation grossière ainsi que l'ajustement précis de la position de l'échantillon pendant le mode de tunnelage. Il n'y a pas d'éléments mécaniques tels que ressorts, leviers, rouages intermédiaires ou moteurs pas-à-pas qui, on le sait, provoquent une sensibilité aux vibrations et une dérive thermique importantes. Ledit dispositif fontionne donc, en mode standard de définition atomique, sans isolation vibratoire et sa dérive thermique est inférieure à un angstroem par heure.
申请公布号 EP0366746(A1) 申请公布日期 1990.05.09
申请号 EP19890904458 申请日期 1989.03.16
申请人 UNIV ILLINOIS 发明人 LYDING, JOSEPH, W.
分类号 G01N23/00;G01Q30/10;G01Q60/38;H01J37/26 主分类号 G01N23/00
代理机构 代理人
主权项
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