发明名称 PROCESS FOR PRODUCING CONDUCTORS FOR INTEGRATED CIRCUITS USING PLANAR TECHNOLOGY
摘要
申请公布号 IE55059(B1) 申请公布日期 1990.05.09
申请号 IE19840000053 申请日期 1984.01.12
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人
分类号 H01L21/302;G11C11/14;H01F41/34;H01L21/027;H01L21/3065;H05K3/04;H05K3/10;(IPC1-7):H01L21/70;H01F41/14 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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